高精度MEMS制造工艺

MEMS制造技术用于将机械元件、传感器、致动器、电子电路等集成在单个硅基板、玻璃基板或有机材料上，均实现了亚微米精度。与半导体电路一样，MEMS也是在包含光刻、蚀刻和其他步骤的工艺中制造的。在手表、手机和电脑等许多现代设备的制造中，这是一项必不可少的技术。爱普生多年来一直在应用这项技术，先是用于加工机械手表零件，后来用于加工石英手表中使用的晶体单元。经过几十年的经验积累和改进，爱普生的MEMS技术已成为业内最精确的技术之一。

采用MEMS技术制造的复杂零件

爱普生MEMS加工技术的优势在于其在三维方面体现出的卓越精度。普通的半导体制造要求优异的平面尺寸精度，而对高度方向上的精度则没有过高的要求。使用通用半导体制造设备制造的结构存在几个百分点的高度差异。相比之下，爱普生的MEMS制造技术将这种差异缩小到了普通半导体工艺的五分之一到十分之一左右。我们的技术能够制作出复杂的零件，如薄膜压电（TFP）致动器、墨水通道和喷嘴盖板等。

在光敏树脂上生产的热发泡打印头中的喷嘴长度为数微米，而使用MEMS技术在硅片上制造的MicroTFP打印芯片中的喷嘴可能是这一长度的10倍以上，从而可以获得超高液滴滴落精度和惊人的图像质量。

PrecisionCore打印头

构成PrecisionCore打印头的MicroTFP打印芯片中的TFP致动器、墨水通道和喷嘴盖板使用MEMS技术，以亚微米级精度制造。智能墨滴变换技术（VSDT）是一种先进的弯液面控制技术，有助于爱普生打印机实现惊人的速度与卓越的打印质量。PrecisionCore打印头采用爱普生的MEMS精密制造工艺，将喷墨打印提升到了一个新的水平。